USACH BOULEPRO 200AX

Die USACH BOULEPRO 200AX ist derzeit die einzige Maschine ihrer Art und ermöglicht eine wesentlich schnellere und kostengünstigere Umwandlung von Boule in Pucks, um die hohe Nachfrage nach Siliziumkarbid (SiC), einem wichtigen Halbleitermaterial, zu decken. Mit seiner SSDC-Fähigkeit (Single-Step Dual-Plane Compensation) macht der BOULEPRO 200AX aus einem traditionell mehrstufigen Prozess, der auf mehreren Maschinen durchgeführt wurde, einen Ein-Maschinen-Prozess, der die Effizienz und die Kosten in jedem Schritt drastisch verbessert.

• Verbesserte Teilegeschwindigkeit
• Reduzierter Personaleinsatz
• Geringerer Platzbedarf in der Fertigung
• Hervorragende Prozesswiederholbarkeit
• Verringerung der benötigten Verbrauchsmaterialien
• Bis zu 500-mal genauere Winkelausrichtung

• Siliziumkarbid ist ein halbleitendes oder halbisolierendes Material, das in vielen verschiedenen Arten von elektronischen Geräten wie Dioden, MOSFETS, JFETS usw. verwendet wird.
• Es ersetzt Silizium-basierte Bauelemente für Anwendungen, die eine hohe Leistungsdichte, hohe Frequenzen und hohe Spannungen erfordern.
• Elektrofahrzeuge (EVs) und 5G sind wichtige Nutzer dieser Art von Bauteilen.
• Siliziumkarbid wird durch physikalischen Dampftransport (PVT) in Hochtemperaturöfen gezüchtet, und es dauert 2 bis 4 Wochen, um einen Kristall (Boule) von nur wenigen Kilogramm Größe zu züchten.
  Der Kristall muss dann zu einem waferfähigen Puck geformt und anschliessend in Wafer geschnitten werden, auf denen die Hersteller von Bauelementen aufbauen können.
  Für diesen Verarbeitungsschritt nach der Züchtung, bei dem aus dem gezüchteten Boule ein waferfertiger Puck entsteht, hat Kellenberger eine innovative Lösung entwickelt